2025年6月24日-27日,儀器信息網(wǎng)與中國電子顯微鏡學(xué)會(huì)將聯(lián)合主辦“第十一屆電子顯微學(xué)網(wǎng)絡(luò)會(huì)議(iCEM 2025)”。會(huì)議圍繞當(dāng)下電子顯微學(xué)主要儀器技術(shù)及應(yīng)用熱點(diǎn),邀請(qǐng)業(yè)界知名專家線上分享精彩報(bào)告。
CTI華測(cè)檢測(cè)應(yīng)邀參會(huì),CTI華測(cè)檢測(cè)半導(dǎo)體檢測(cè)及分析中心沈玄博士將在【電子顯微學(xué)在半導(dǎo)體制造中的創(chuàng)新應(yīng)用(下)】專場(chǎng),帶來《電子顯微鏡助力芯片失效分析全揭秘》主題演講。
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直播主題
電子顯微鏡助力芯片失效分析全揭秘
直播時(shí)間
2025年6月26日14:00-14:30
直播講師
沈玄博士:CTI華測(cè)檢測(cè)半導(dǎo)體檢測(cè)及分析中心技術(shù)總監(jiān)
直播概要
電子顯微鏡憑借其無與倫比的納米級(jí)分辨率與元素分析聯(lián)用能力,成為芯片失效分析的核心工具。它能精確定位微小結(jié)構(gòu)異常(如短路、斷路、污染物)、直觀揭示界面分層或空洞等物理缺陷、無損分析材料成分,是解析納米尺度失效機(jī)制不可或缺的“眼睛”。
本報(bào)告將基于真實(shí)先進(jìn)芯片案例,展示電子顯微鏡如何快速定位缺陷、揭示失效根源,彰顯其在芯片良率提升與可靠性保障中的關(guān)鍵作用。
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